氣(qi)體質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控制(zhi)器的(de)技術革新(xin)改善未(wei)來(lai)

 

　　氣(qi)體質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控制(zhi)器通過內(nei)置的(de)傳感器實時(shi)監(jian)測(ce)流(liu)經(jing)管(guan)道的(de)氣(qi)體質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)，並根據(ju)預設(she)值自動(dong)調(tiao)整閥門(men)開(kai)度來實現精確控(kong)制(zhi)。這(zhe)種(zhong)控(kong)制(zhi)器(qi)通常采用熱(re)式質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)測(ce)量(liang)技術(shu)，即(ji)基(ji)於(yu)氣(qi)體流(liu)動(dong)帶走熱(re)量(liang)的(de)原(yuan)理來(lai)測(ce)定(ding)流(liu)量(liang)。具(ju)體來(lai)說(shuo)，當電(dian)流(liu)通過加(jia)熱(re)元件時(shi)，會(hui)加(jia)熱(re)周圍的(de)氣(qi)體；根(gen)據(ju)溫度變(bian)化即(ji)可推(tui)算出氣(qi)體的(de)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)。先(xian)進(jin)的(de)MFC還集成(cheng)了(le)PID控制(zhi)算法，可以(yi)快(kuai)速(su)響應流(liu)量(liang)波(bo)動(dong)，確(que)保(bao)輸出(chu)流(liu)量(liang)的(de)高度穩(wen)定(ding)性。

 

　　應用場(chang)景(jing)廣(guang)泛

 

　　氣(qi)體質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控制(zhi)器的(de)應用幾乎遍(bian)布所有需(xu)要精確(que)控制(zhi)氣(qi)體流(liu)量(liang)的(de)行業。在(zai)半(ban)導(dao)體制(zhi)造(zao)過程中，它是沈積、蝕(shi)刻(ke)等(deng)關鍵(jian)步(bu)驟重(zhong)要的(de)組(zu)成部(bu)分(fen)，用於(yu)保(bao)證(zheng)化學(xue)氣(qi)相沈(chen)積（CVD）或物(wu)理氣(qi)相沈(chen)積（PVD）過程中反應氣(qi)體供(gong)給的(de)準(zhun)確(que)性。此(ci)外，在生物制(zhi)藥領(ling)域(yu)，MFC用於(yu)發(fa)酵(jiao)罐(guan)內(nei)氧(yang)氣(qi)、二氧(yang)化(hua)碳(tan)等(deng)氣(qi)體的(de)精確供(gong)給，以(yi)優(you)化微生物(wu)生長環(huan)境；而在環(huan)境監(jian)測(ce)中，它們則幫助(zhu)科(ke)學(xue)家(jia)準(zhun)確(que)測(ce)量(liang)大氣(qi)汙染物濃(nong)度，為(wei)制(zhi)定(ding)環(huan)保(bao)政(zheng)策提(ti)供(gong)科(ke)學(xue)依據(ju)。

 

　　技術(shu)革新改善未(wei)來(lai)

 

　　隨著工(gong)業4.0和(he)智(zhi)能(neng)制造(zao)概念(nian)的(de)普(pu)及(ji)，氣(qi)體質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控制(zhi)器也在不斷進(jin)化(hua)。壹方面(mian)，數(shu)字(zi)化和(he)網絡化(hua)成為(wei)主(zhu)流(liu)趨勢，新(xin)型(xing)MFC支(zhi)持(chi)Modbus、Ethernet/IP等(deng)多種(zhong)通信協(xie)議(yi)，便(bian)於(yu)集成(cheng)到(dao)工廠自動(dong)化(hua)系(xi)統中，實現遠程監(jian)控(kong)與(yu)數(shu)據(ju)管理(li)。另壹方面(mian)，為(wei)了(le)滿足(zu)特殊(shu)工況下的(de)需(xu)求(qiu)，如高(gao)壓、高溫或腐(fu)蝕(shi)性氣(qi)體環(huan)境，制造(zao)商(shang)正(zheng)在(zai)開發(fa)具(ju)有更高(gao)耐久性和(he)抗幹擾能(neng)力的(de)產品。