小流量(liang)氣(qi)體(ti)質(zhi)量(liang)流量(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)的(de)工(gong)作原(yuan)理(li)及(ji)應用(yong)場景(jing)分享

 

　　壹(yi)、工(gong)作原(yuan)理(li)

 

　　1、熱式(shi)測量(liang)原理(li)

 

　　小(xiao)流(liu)量(liang)氣(qi)體(ti)質(zhi)量(liang)流量(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)通(tong)常(chang)基於(yu)熱(re)傳(chuan)導(dao)原(yuan)理工(gong)作。它(ta)通(tong)過(guo)加熱元(yuan)件對流(liu)經傳(chuan)感器(qi)的(de)氣(qi)體(ti)進(jin)行加熱，並(bing)測量(liang)氣(qi)體(ti)流(liu)動帶(dai)走的(de)熱(re)量(liang)變化來(lai)確(que)定流(liu)量(liang)。當氣(qi)體(ti)流(liu)過(guo)傳(chuan)感器(qi)時(shi)，帶(dai)走的(de)熱(re)量(liang)與氣(qi)體(ti)的(de)質(zhi)量(liang)流量(liang)成正(zheng)比(bi)。內(nei)置的(de)溫度傳(chuan)感器(qi)檢(jian)測(ce)到(dao)這(zhe)種(zhong)變化，並(bing)將其轉換(huan)為電(dian)信(xin)號(hao)，經過(guo)放(fang)大和(he)處理後輸出相(xiang)應的(de)流(liu)量(liang)值。

 

　　2、閉(bi)環控(kong)制(zhi)機(ji)制(zhi)

 

　　高(gao)精(jing)度的(de)產(chan)品(pin)采(cai)用(yong)閉(bi)環控(kong)制(zhi)系統，確(que)保(bao)流量(liang)穩定(ding)且(qie)準(zhun)確(que)。系統根據設(she)定(ding)值與(yu)實(shi)際測(ce)量(liang)值之(zhi)間(jian)的(de)差異，自動調(tiao)整(zheng)閥(fa)門開(kai)度，使流(liu)量(liang)始(shi)終(zhong)保(bao)持在(zai)目標(biao)範(fan)圍(wei)內(nei)。這種(zhong)實(shi)時(shi)反饋(kui)機(ji)制(zhi)使得(de)即使在(zai)外(wai)界(jie)條件發生(sheng)變化時(shi)，也能維持穩(wen)定(ding)的(de)流(liu)量(liang)輸出。

 

　　二(er)、典型(xing)應用(yong)場景(jing)

 

　　1、半(ban)導(dao)體(ti)制(zhi)造

 

　　在半導(dao)體(ti)工(gong)藝(yi)中(zhong)，氣(qi)體(ti)流(liu)量(liang)的(de)精(jing)確(que)控(kong)制(zhi)對於(yu)薄(bo)膜沈(chen)積、蝕(shi)刻等工(gong)序(xu)至(zhi)關(guan)重要。例(li)如(ru)，在化學氣(qi)相(xiang)沈(chen)積（CVD）過(guo)程(cheng)中(zhong)，需(xu)要嚴格控(kong)制(zhi)反應氣(qi)體(ti)的(de)流(liu)量(liang)，以保(bao)證(zheng)薄(bo)膜厚度均(jun)勻(yun)壹(yi)致(zhi)。它可(ke)以(yi)確(que)保(bao)氣(qi)體(ti)供(gong)應(ying)穩(wen)定可(ke)靠(kao)，滿足(zu)嚴格的(de)工(gong)藝(yi)要求。

 

　　2、實(shi)驗室分析(xi)儀(yi)器(qi)

 

　　氣(qi)相(xiang)色(se)譜儀(yi)（GC）、質(zhi)譜儀(yi)（MS）等分析(xi)儀(yi)器(qi)常(chang)配備(bei)該產品(pin)，用(yong)於(yu)載(zai)氣(qi)或(huo)輔(fu)助(zhu)氣(qi)體(ti)的(de)精(jing)確(que)供(gong)給(gei)。這(zhe)有(you)助(zhu)於(yu)提(ti)高(gao)檢(jian)測(ce)靈(ling)敏(min)度和(he)準(zhun)確(que)性，特別是(shi)在痕(hen)量(liang)物質分析(xi)中(zhong)表現(xian)尤為(wei)突出。

 

　　3、醫(yi)療(liao)設(she)備(bei)

 

　　呼(hu)吸機(ji)、麻醉機(ji)等醫(yi)療(liao)設(she)備(bei)依(yi)賴於(yu)小(xiao)流(liu)量(liang)氣(qi)體(ti)質(zhi)量(liang)流量(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)來(lai)精(jing)確(que)輸送(song)氧氣(qi)或(huo)其他治(zhi)療(liao)氣(qi)體(ti)，確(que)保(bao)患(huan)者安(an)全有(you)效(xiao)接(jie)受(shou)治(zhi)療(liao)。其高(gao)精(jing)度和(he)穩定性對(dui)於(yu)保(bao)障(zhang)生命(ming)支持系統的(de)正(zheng)常(chang)運行至(zhi)關(guan)重要。